使用MFC對氣體進行微流控制

      對于氣體質量流量控制器MFC來說，在有些場景，例如半導體相關行業，分析儀器行業，科研實驗場景等，需要對氣體進行微流控制，使其流量很小，需要小于1SCCM，同時這種微流控制也需要較高的響應時間，因為流量很小，瞬間就會在氣路中通過所需的流量，所以如果MFC的響應時間太慢的話，流量控制就很困難。

       我司的高精度氣體質量流量控制器MFC，最小量程可以做到2SCCM（滿量程流量），可以控制到0.01SCCM，響應時間＜200ms，很適合微流控制。

       對于這種微流控制，即使是用模擬信號操控，也需要選用數字款流量控制器（既帶有數字信號，也帶有模擬信號），其內部的處理方式是數字化芯片控制，而模擬款（只帶有模擬信號）則只靠電路的線性控制，數字款MFC控制的更穩定、更精確，尤其是對微小流量氣體的流量控制，會體現的更明顯。

       以下是某客戶定制的滿量程為5ml/min的流量控制器，演示視頻，客戶要求流量微小流量控制到0.25ml/min。