氣體流量的定量控制

氣體流量控制器在一些應用中需要用到充氣量的累積值，那么如何精準控制累積充氣量呢？

在我司的MFC功能中，設置了到累積流量值后自動設定瞬時流量值為0 的功能。

首先在表體內設定所需要的累積流量（累積氣量），然后設定進氣的實時流量（瞬時流量），MFC會開啟累積功能，當累積流量達到所設定目標值后，就會自動停止供氣。

這種控制方式既可以在表體屏幕上操作也可以通過電腦等上位機控制，配備有485Modbus通訊。

此款流量控制器的其它技術參數如下：(另有0.5%FS精度可選）

技術指標：

ACU10FD-LC 質量流控制器

量程范圍：2SCCM ～ 300SLM

控制器閥控范圍： 50：1

準確度：±1.0%F.S

線性：±0.5%F.S

重復精度：：±0.2%F.S

響應時間：<1.5S

數字量：RS232/485，MODBUS 協議

模擬量：0 ～ 5V、4-20mA、1 ～ 5V

供電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0 ～ 50℃

工作壓差：0.05 ～ 0.5MPa；

最大耐壓：3MPa/10MPa

電氣連接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

溫度系數：±0.025%F.S/℃

底座材質：不銹鋼

密封材質：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠

接頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，1/2"。。。卡套，VCR..(可按客戶要求匹配）

如果有其它定制參數請與頁面的產品經理溝通。