小流量液體蒸發，CVD工藝應用

混合蒸發器系統作為一款高性能的前驅體輸送解決方案，其應用范圍已實現多市場、多場景的成熟落地應用。除精密實驗儀器領域的常規適配外，該系統還可廣泛應用于半導體、太陽能電池制造的核心制程，有效支撐導電層/絕緣層沉積、真空工藝及化學氣相沉積（CVD）等關鍵工藝環節的高效實施。

我司經過憑借十余年精密流體測控領域技術積淀，結合國外先進技術，成功研發了氣液混合蒸發系統，可為用戶定制滿足嚴苛工藝需求的專屬解決方案，聚焦快速響應、精準調節、高效蒸發三大核心能力，助力提升混合過程控制精度與生產效率。

氣液混合蒸發系統，由五個部分組成：一個液體流量控制器（用于控制液體源流量），一個或多個氣體質量流量控制器（用于控制載氣流量），一個溫度可調的混合蒸發器（用于液體汽化）；一個可選的流量溫度顯示控制儀（用于設定流量和溫度），一個可選的汽化后稀釋氣體流量控制器（用于產出蒸汽的稀釋）。

典型的CEM 系統如上圖所示：

1、可控制液體流量的（待蒸發的液態前驅體）液體流量控制器/流量計、氣體流量控制器、蒸發器本體及溫度控制儀。

2、可以利用PLC 和DCS 系統通過MODBUS 或DEVICENET 等協議實現集中控制，或單獨配備的顯示控制儀進行手動操控；可以增加一臺或者多臺載氣流量控制器，實現多組份載氣注入。

3、 蒸汽出口，可以增加三通，接入一臺氣體質量流量控制器，對產出蒸汽進行稀釋。

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