差壓式層流流量計產品介紹

一、產品概述：

◆無“比熱容"誤差，高精度數據實時反饋

◆準確度0.5%，量程可在100：1（可定制200:1,500:1）范圍內設定，無需標定

◆無需預熱，測量時無響應滯后

ACU30FC差壓式質量流量控制器采用無熱漂移，無響應滯后的差壓質量測量原理，可以同時顯示和輸出：瞬時 流量、累計流量、壓力、溫度等。當需要控制功能時，還可以加裝電磁比例調節閥和內置PID 調節功能。

二、產品應用：

ACU30FC系列差壓式質量流量控制器控制器廣泛應用于各行業領域，如：真空、鍍膜、太陽能、半導體等。多變量測量以及100:1量程可調比，使得僅用一臺ACU30FC差壓式質量流量控制器便可取代多臺設備的功效。精度0.5%、重復性0.2%及不到50毫秒的控制響應時間，確保過程氣體正常工作。

三、產品參數：（如需要具體溝通，請與頁面的產品經理聯系）