高精度低壓損質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì)

一、高精度低壓損質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì) 產(chǎn)品概述：

     配備專有的高流通能力電磁閥門，適用于在幾乎沒(méi)有可用系統(tǒng)壓力的情況下控制質(zhì)量流量，低壓差將

保證對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生最小影響，實(shí)現(xiàn)接近大氣壓力條件下的流量控制并縮短系統(tǒng)響應(yīng)時(shí)間。

     我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)，為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保產(chǎn)品能夠在保持低壓損的同時(shí)實(shí)現(xiàn)快

速、穩(wěn)定的控制。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

真空鍍膜 / 太陽(yáng)能、氫能等新能源 / 半導(dǎo)體 / 石油石化精細(xì)化工 / 電力冶金

環(huán)保 / 食品包裝 / 生物醫(yī)藥 / 新材料 / 工業(yè)制作 / 各種分析儀器 / 制氣配氣系統(tǒng)

三、高精度低壓損質(zhì)量流量控制器MFC及流量計(jì) 產(chǎn)品參數(shù)：

滿量程范圍：2SCCM～6000SLM
準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S
線       性：±0.5%F.S
重復(fù)精度：±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間：流量計(jì)：＜0.1s ；流量控制器：<0.2s
數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議
模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V
供       電：±15VDC，24VDC
工作溫度：0～50℃
工作壓降：<0.01Mpa(流量計(jì)）
工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）
耐       壓：3MPa/10MPa
漏       率：1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)：不銹鋼
密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，F(xiàn)FKM/FFPM等
接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，請(qǐng)另行溝通定制。