自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計

簡要描述：自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計：
-- 直通式設(shè)計，測量范圍從100Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。
-- 精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。
-- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。
該數(shù)字PC板具有測量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

產(chǎn)品型號：ACU20PC-LH
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-07-07
訪問量：3036

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詳細(xì)介紹

一、自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產(chǎn)品特點：

-- 測量范圍從10Pa 到 20MPA（絕壓和表壓皆可）。

-- 精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。

-- 標(biāo)配一個壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。

該基本數(shù)字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。

-- 除了配備標(biāo)準(zhǔn)的RS485輸出信號，還提供模擬I/O信號。

-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥，具有超快和平穩(wěn)控制的特性。

我們有不同系列的控制閥對應(yīng)特定的應(yīng)用領(lǐng)域。常規(guī)應(yīng)用使用標(biāo)準(zhǔn)的直接操控閥，高流速應(yīng)用使用先導(dǎo)閥。

二、應(yīng)用領(lǐng)域：

-- 半導(dǎo)體工藝，氣相和液相色譜儀，MOCVD過程中蒸汽壓力控制，擠塑成型過程中氣體壓力保護(hù)控制，高壓釜/反應(yīng)釜壓力控制等。

三、自動補(bǔ)氣Torr托爾級壓力控制器EPC/壓力計 產(chǎn)品參數(shù)：（如所需參數(shù)與下述列舉不同，請另行溝通咨詢）

技術(shù)參數(shù)	精度(包括線性和滯后性)	≤±0.5%F.S
	壓力量程比	壓力計	1:100
		壓力控制器	1:50
	重復(fù)性	≤0.1%
	傳感器響應(yīng)時間	0.2s
	控制穩(wěn)定性	≤±0.05%F.S(測定條件：1 L/min N2)
	運行溫度	-10~+70℃
	溫度敏感性	0.1%FS/℃
	漏率	1×10-9 SCCS He
	方位影響度（90°變化）	＜0.03 KPa（絕壓/表壓傳感器）
		＜0.6 KPa（差壓傳感器）
	預(yù)熱時間	忽略不計

機(jī)械部件	材質(zhì)	不銹鋼
	工藝連接	G3/8"
	密封材質(zhì)	氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他
	防護(hù)等級（外殼）	IP40

電氣特性	電源	15~24Vdc
	數(shù)字輸出	RS485/RS232、Modbus、profibus、Devicnet等協(xié)議
	電氣連接	DB9

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